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德國AIM System涂層膜厚測量儀采用光熱紅外法技術原理測量涂層的厚度,那光熱紅外法技術是如何進行工作的呢?詳情如下:
待測樣品在調制光源的激勵下吸收了光輻射的能量,產生紅外熱輻射即熱波,由于待測樣品內部的多層結構或者自身缺陷而存在分界面特性的差異,導致紅外熱波在通過分界面時波形發生變化,不同層狀結構厚度以及樣品缺陷形貌對熱波波形變化有不同的影響,通過探測反射熱波形的隨時間變化及相對激發光信號的延遲可以分析得到待測樣品層狀結構以及缺陷形貌尺寸的信息。
光熱紅外技術的技術優勢:
1. 無損無接觸式測量
2. 適用范圍廣:
3. 可在曲面、粗糙表面和各種厚度的基底上測量
4. 高精度,通常在±0.5µm或更小
5. LED光源,使用安全,無輻射和激光危害
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